克日 ,说光授提施一篇名为《稳态微聚束减速器光源》的刻机论文宣告于《迷信时报》上 ,激发了普遍的确定关注。这篇论文以清华大学的学荷学教新芯一位唐传祥教授为第一作者 ,提出了一种全新的兰清芯片制作措施,倾覆了传统光刻技术的出全规模性 ,为未来芯片制作规模带来了斩新的片制可能性 。
在芯片制作规模,作措光刻技术不断饰演着至关紧张的说光授提施脚色 。可是刻机,传统的确定光刻技术也存在一些清晰的规模性,这些规模性在新一代芯片制作中变患上尤为清晰。学荷学教新芯传统的兰清光刻技术需要运用大型 、高尚的出全配置装备部署,如荷兰ASML公司破费的片制光刻机 。这些配置装备部署的高老本使患上芯片制作历程变患上高尚,有利于老本的飞腾